Skytech gelang es, die Herausforderungen bei der Entwicklung fortschrittlicher Halbleiterausrüstung zu meistern und ein Instrument zur Atomabscheidungsschicht (ALD) zu entwickeln. Mit der Verifizierung und Übernahme seiner ALD-Geräte durch Epistar hat Skytech zu Epistars Bemühungen beigetragen, kommerzialisierte Anwendungen vonLEDTechnologien.
Skytech wurde 2002 gegründet und ist ein bedeutender Lieferant kritischer Halbleiterkomponenten in Taiwan. Im Jahr 2017 begann das Unternehmen, in die Entwicklung kritischer Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu investieren. Derzeit bietet Skytech mehrere selbstentwickelte Geräte an, darunter eine PVD-Maschine (NexdaTM), ein ALD- und Pulver-ALD-Tool (AtomilaTM), ein Bondsystem (Bondela Bonder), ein Debonding-System (Catapulta Debonder), eine Laser-Lift-Off-Maschine und ein Wafer-Roboter (Skikrieg).
Vic Lin, CEO von Skytech, erklärte, dass das Unternehmen mit Unterstützung des Wirtschaftsministeriums in Taiwan ein komplettes Set von ALD-Dünnschichtlösungen für die Mini-/Mikro-LED-Produktion entwickelt habe. Die für Epistar bereitgestellte Ausrüstung verfügt über eine einzigartige Reaktionskammer und ein einstellbares Design für die Zufuhr von Vorläufern; der hergestellte ALD-Dünnfilm weist eine ausgezeichnete Beschichtungsgleichmäßigkeit und -wiederholbarkeit, eine wünschenswerte Durchschussfestigkeit, eine hohe Durchlässigkeit und eine niedrige Vorläuferdosis auf.
In Bezug auf die fortschrittlichere Entwicklung von Micro-LED-Geräten wies Lin darauf hin, dass Micro-LED-Bildschirme aus kleineren roten, grünen und blauen feinen Pixeln bestehen, deren Herstellungsprozess leicht zu Schäden an der empfindlichen Nanostruktur im Inneren und zu Lichtintensitätsverlusten führen kann.
Um das Problem zu lösen, entwickelt Skytech eine Vorpassivierungstechnologie, um die strukturellen Schäden während der Mikro-LED-Fertigung zu reparieren und die Lichtstärke auf das Vorfertigungsniveau oder sogar ein höheres Niveau zurückzukehren. Skytech arbeitet eng mit verschiedenen LED-Anbietern zusammen.
